微粒子污染是半导体制程中最关键和最基本的问题。在千级无尘室净化工程实际的生产现场，一般由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边会扬起少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染，造成产品良率降低甚至报废。千级无尘室净化工程
该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列几项基本原则。
1、不携入
千级无尘室净化工程不携入微粒子的方法有:作业员进入千级无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理;进入千级无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入千级无尘室。机器及材料带进千级无尘室前，应尽可能在密封状态下，经风淋室吹淋后才进入千级无尘室。
2、不发生
在控制最大污染源—人在千级无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。千级无尘室净化工程中，因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策:减少接触剥离发尘的动作形态;采用磨耗发尘小的材质;采用发尘小的润滑油;机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
3、不储备
若能彻底实施“不携入”技术，千级无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的千级无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。千级无尘室净化工程要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流也可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。实施净化工程时，为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。