(1)活塞配合间隙过大或密封装置损坏，造成内泄漏。应减小配合间隙，更换密封件。
(2)活塞配合间隙过小，密封过紧，增大运动阻力。应增大配合间隙，调整密封件的松紧度。
(3)活塞杆弯曲，引起剧烈摩擦。应校直活塞杆。
(4)平面磨床内油液温升太高、黏度下降，使泄漏增加；或是由于杂质过多，卡死活塞和活塞杆。应采取散热降温等措施，更换油液。
(5)缸筒拉伤，造成内泄漏，应更换缸筒。
(6)由于经常用工作行程的某一段，造成平面磨床内径直线性不良(局部有腰鼓形)，致使平面磨床的高、低压油互通。应镗磨修复平面磨床内径，单配活塞。